ວົງແຫວນໂຟກັດຫ້ອງອາລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງສຳລັບລະບົບ Plasma Etch ແລະ CVD

ວົງແຫວນໂຟກັສຫ້ອງຂອງ St.Cera ເປັນອົງປະກອບຊຸດຂະບວນການທີ່ສຳຄັນທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ plasma etch, CVD, ແລະ PVD. ຜະລິດຈາກອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ 99.8% (Al₂O₃), ວົງແຫວນອ້ອມຮອບຂອບແຜ່ນ wafer ເພື່ອຈຳກັດ plasma ແລະເພີ່ມປະສິດທິພາບການແຈກຢາຍມຸມຂອງໄອອອນ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງປັບປຸງຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການແກະສະຫຼັກທົ່ວໜ້າຜິວແຜ່ນ wafer. ວັດສະດຸດັ່ງກ່າວມີຄວາມຕ້ານທານ plasma ທີ່ໂດດເດັ່ນ, ຄວາມແຂງແຮງຂອງໄດອີເລັກຕຣິກສູງ (15×10⁶ V/m), ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນສູງເຖິງ 1600°C, ຮັບປະກັນຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວໃນສະພາບແວດລ້ອມ plasma ທີ່ມີຟລູອໍຣີນ ຫຼື ຄລໍຣີນທີ່ຮຸນແຮງ. ID/OD ແລະ ຄວາມຮາບພຽງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ (≤10 μm) ຊ່ວຍໃຫ້ການວາງຕຳແໜ່ງຂອບແຜ່ນ wafer ທີ່ຖືກຕ້ອງ, ຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງຂອບ ແລະ ການສ້າງອະນຸພາກ.

ລາຍລະອຽດສະເພາະ(ອີງຕາມ 99.8% Al₂O₃):

ແອັບພລິເຄຊັນ:

• · ວົງແຫວນໂຟກັສຫ້ອງກັດໄດອີເລັກຕຣິກ (ອົກໄຊ, ໄນໄຕຣດ)
• · ວົງແຫວນຂອບຫ້ອງແກະສະຫຼັກຊິລິໂຄນ
• · ວົງແຫວນຊຸດຂະບວນການຂອງຫ້ອງ CVD
• · ໄສ້ປ້ອງກັນຫ້ອງ PVD ແລະ ແຫວນໜີບ

ຂະບວນການຜະລິດ:

ຜົງອາລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຖືກກົດດັນແບບ isostatic → ເຄື່ອງຈັກສີຂຽວໃຫ້ເປັນຮູບຮ່າງເກືອບສຸດທິ → ເຜົາທີ່ 1600°C → ການບົດເພັດ CNC ຂອງ ID, OD, ແລະ ຄວາມໜາ → ການຂັດເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຄວາມຮາບພຽງ ≤10 μm → ການທຳຄວາມສະອາດດ້ວຍ ultrasonic → ການກວດກາ CMM 100%. ການສຳເລັດຮູບພື້ນຜິວ Ra ≤0.4 μm ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການຍຶດຕິດຂອງອະນຸພາກ.

ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບ:

• · ການກວດກາມິຕິ 100% (ID, OD, ຄວາມໜາ, ຂະໜານ)
• · ການທົດສອບການຊຶມເຂົ້າຂອງສີຍ້ອມສຳລັບຮອຍແຕກຂະໜາດນ້ອຍ (ບໍ່ອະນຸຍາດໃຫ້ມີຮອຍແຕກ)
• · ການກວດກາດ້ວຍສາຍຕາພາຍໃຕ້ກ້ອງຈຸລະທັດ 20× — ບໍ່ມີຮອຍບิ่น, ຮູ ຫຼື ການປ່ຽນສີ
• · ການທົດສອບຄວາມແຮງຂອງໄດອີເລັກຕຣິກຕາມ ASTM D149 (ການເກັບຕົວຢ່າງ)

ຂໍ້ໄດ້ປຽບກວ່າວົງແຫວນໂຟກັສຊິລິໂຄນ ຫຼື ຄວດສ໌:

• · ມີອາຍຸຍືນກວ່າ 5–10 ເທົ່າໃນພລາສມາຟລູໂອໂຣຄາບອນ
• · ບໍ່ມີອະນຸພາກການກັດເຊາະທີ່ບໍລິໂພກໄດ້ເພື່ອປົນເປື້ອນແຜ່ນເວເຟີ
• · ຄວາມແຂງແຮງຂອງໄດອີເລັກຕຣິກທີ່ສູງຂຶ້ນຊ່ວຍປ້ອງກັນການເກີດອາກຕິກ
• · ຮັກສາຄວາມຮາບພຽງ ແລະ ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິໃນໄລຍະເວລາຫຼາຍພັນຊົ່ວໂມງ RF

ວັດສະດຸທາງເລືອກ — ເຊີໂຄເນຍທີ່ມີຄວາມໝັ້ນຄົງກັບ Yttria (ZrO)₂):

ສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ຕ້ອງການຄວາມທົນທານຂອງການແຕກຫັກທີ່ສູງກວ່າ (ເຊັ່ນ: ຫ້ອງທີ່ມີວົງຈອນຄວາມຮ້ອນເລື້ອຍໆ ຫຼື ການກະທົບທາງກົນຈັກ), ວົງແຫວນໂຟກັດ ZrO₂ (ຄວາມໜາແໜ້ນ 6.03 g/cm³, ຄວາມແຂງແຮງຂອງການດັດ 1000 MPa, ຄວາມທົນທານຂອງການແຕກຫັກ 5–8 MPa·m¹/²) ແມ່ນມີໃຫ້. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ອະລູມິນາໃຫ້ປະສິດທິພາບດ້ານຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ດີກວ່າ ແລະ ເປັນມາດຕະຖານອຸດສາຫະກຳສຳລັບການນຳໃຊ້ວົງແຫວນໂຟກັດສ່ວນໃຫຍ່.

ການປັບແຕ່ງ:

• · ໂປຣໄຟລ໌ຂັ້ນໄດ, ຮູເຈາະ, ຫຼື ຮູຕິດຕັ້ງຕາມແບບຂອງລູກຄ້າ
• · ການເຄືອບ Y₂O₃ ເພື່ອເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານການກັດເຊາະຂອງພລາສມາ (ຄວາມໜາ 20–100 μm)
• · ເຄື່ອງໝາຍເລເຊີຂອງໝາຍເລກຊິ້ນສ່ວນ, ລະຫັດວັນທີ, ຫຼື ເຄື່ອງໝາຍການຈັດລຽນ

ໝາຍເຫດ:ຂໍ້ມູນທັງໝົດແມ່ນປະຕິບັດຕາມຕາຕະລາງຄຸນສົມບັດ Al₂O₃ ທີ່ສະໜອງໃຫ້ຢ່າງເຂັ້ມງວດ. ສຳລັບລາຍລະອຽດສະເພາະຂອງ ZrO₂, ໃຫ້ອ້າງອີງໃສ່ແຜ່ນຂໍ້ມູນເຊີໂຄເນຍທີ່ສະໜອງໃຫ້. ການອອກແບບວົງແຫວນໂຟກັສອາດຕ້ອງການການອະນຸຍາດສິດທິບັດ - ລູກຄ້າມີຄວາມຮັບຜິດຊອບໃນການກວດສອບສິດທິຊັບສິນທາງປັນຍາ.