ຕົວສົ່ງຜົນສຸດທ້າຍເຊລາມິກເຄືອບ Teflon - ໜ້າດິນທີ່ບໍ່ຕິດ ສຳລັບການຈັດການແຜ່ນເວເຟີທີ່ລະອຽດອ່ອນ
ຕົວແກ້ໄຂສຸດທ້າຍເຊລາມິກເຄືອບ Teflon (PTFE) ຂອງ St.Cera ປະສົມປະສານຊັ້ນຮອງພື້ນອາລູມີນາທີ່ມີຄວາມແຂງແຮງສູງກັບການເຄືອບ PTFE ທີ່ມີຄວາມສຽດທານຕ່ຳ ແລະ ເປັນເອກະພາບ (ຄວາມໜາ 15–30 μm). ການເຄືອບດັ່ງກ່າວໃຫ້ຄ່າສຳປະສິດຄວາມສຽດທານຕໍ່າຫຼາຍ (≤0.1), ທົນທານຕໍ່ສານເຄມີທີ່ດີເລີດ, ແລະ ຄຸນສົມບັດທີ່ບໍ່ຕິດ, ປ້ອງກັນການຍຶດຕິດຂອງແຜ່ນແພ ແລະ ກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນດ້ານຫຼັງ. ຊັ້ນຮອງພື້ນເຊລາມິກພື້ນຖານ (99.8% Al₂O₃) ໃຫ້ຄວາມແຂງແຮງໃນການບິດງໍສູງ (361–1000 MPa), ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່, ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນສູງເຖິງ 260°C (ຂີດຈຳກັດການເຄືອບ). ຕົວແກ້ໄຂສຸດທ້າຍນີ້ແມ່ນເໝາະສົມທີ່ສຸດສຳລັບການຈັດການກັບແຜ່ນແພທີ່ລະອຽດອ່ອນ, ບາງ, ຫຼື ໜຽວ (ເຊັ່ນ, ຫຼັງຈາກການເຄືອບ photoresist ຫຼື ຂະບວນການທາງເຄມີ).
ລາຍລະອຽດສະເພາະ (ອີງຕາມຊັ້ນຮອງພື້ນ Al₂O₃ 99.8% ທີ່ມີຊັ້ນເຄືອບ PTFE):
| ຊັບສິນ | ມູນຄ່າ |
| ວັດສະດຸພື້ນຜິວ | ອາລູມິນາ 99.8% (ງາຊ້າງ) |
| ວັດສະດຸເຄືອບ | PTFE (ເທຟລອນ) |
| ຄວາມໜາຂອງເຄືອບ | 15–30 ໄມໂຄຣມ |
| ຄ່າສຳປະສິດແຮງສຽດທານ (ເຄືອບ) | ≤0.1 |
| ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍຂອງພື້ນຜິວ (Al₂O₃) | 361 MPa |
| ຄວາມແຂງຂອງພື້ນຜິວ (Al₂O₃) | 16 ເກຣດສະເລ່ຍ |
| ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນ | 3.93 ກຣາມ/ຊມ³ |
| ອຸນຫະພູມປະຕິບັດການສູງສຸດ (ຂີດຈຳກັດການເຄືອບ) | 260°C |
| ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ (ກ່ອນການເຄືອບ) | Ra ≤0.4 μm |
| ຄວາມແຮງຂອງໄດອີເລັກຕຣິກ (ຊັ້ນໃຕ້ດິນ) | 15×10⁶ V/m |
ໝາຍເຫດ: ການເຄືອບ PTFE ຈຳກັດອຸນຫະພູມສູງສຸດໄວ້ທີ່ 260°C; ສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງກວ່າ, ໃຫ້ພິຈາລະນາການເຄືອບເຊລາມິກທີ່ບໍ່ໄດ້ເຄືອບ ຫຼື ການເຄືອບອື່ນໆ.
ແອັບພລິເຄຊັນ:
- · ການຈັດການແຜ່ນເວເຟີຫຼັງຈາກການເຄືອບ photoresist (ພື້ນຜິວທີ່ໜຽວ)
- · ການໂອນແຜ່ນບາງໆ ຫຼື ແຜ່ນບາງໆ (ປ້ອງກັນການຕິດ)
- · ເຄື່ອງມືກວດສອບ ແລະ ວັດແທກຂອງຕົວນຳໄຟຟ້າ
- · ລະບົບອັດຕະໂນມັດໃນຫ້ອງສະອາດບ່ອນທີ່ການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກຕ້ອງໄດ້ຮັບການຫຼຸດຜ່ອນໃຫ້ໜ້ອຍທີ່ສຸດ
ຂະບວນການຜະລິດ:
ພື້ນຜິວເຊລາມິກທີ່ຖືກເຜົາ ແລະ ບົດໃຫ້ລະອຽດ → ການເຮັດໃຫ້ພື້ນຜິວຫຍາບ (ການກັດດ້ວຍພລາສມາ ຫຼື ການພົ່ນດິນຊາຍ) → ການສີດພົ່ນເຄືອບ PTFE → ການແຂງຕົວດ້ວຍຄວາມຮ້ອນທີ່ 380°C → ການກວດກາຄັ້ງສຸດທ້າຍ. ຕົວເຮັດຜົນກະທົບແຕ່ລະອັນຈະຖືກກວດສອບຄວາມໜາຂອງຊັ້ນເຄືອບ (ກະແສໄຟຟ້າໝູນວຽນ), ການຍຶດຕິດ (ການທົດສອບການຕັດຂວາງ ASTM D3359), ແລະ ສຳປະສິດແຮງສຽດທານ.
ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບ:
ກວດກາດ້ວຍຕາ 100% ສຳລັບຮູເຂັມ ຫຼື ຟອງອາກາດ; ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງຄວາມໜາຂອງຊັ້ນເຄືອບພາຍໃນ ±5 μm; ບໍ່ມີການແຕກອອກຫຼັງຈາກການທົດສອບການງໍ 90° ໃນຄູປອງພະຍານ. ກວດສອບມິຕິຕາມຄວາມທົນທານຂອງ OEM (ຄວາມຍາວ ±0.05 ມມ, ຄວາມຮາບພຽງ ≤0.1 ມມ).
ຂໍ້ໄດ້ປຽບກວ່າການເຄືອບທີ່ບໍ່ໄດ້ເຄືອບ ຫຼື ການເຄືອບອື່ນໆ:
- · ໜ້າດິນທີ່ບໍ່ຕິດຊ່ວຍປ້ອງກັນການຍຶດຕິດຂອງແຜ່ນແພ ແລະ ການແຕກຫັກ
- · ຄ່າສຳປະສິດແຮງສຽດທານຕໍ່າສຸດໃນບັນດາຊັ້ນເຄືອບເຊລາມິກ
- · ຕ້ານທານສານເຄມີທີ່ດີເລີດ (ກົດ, ເບສ, ຕົວລະລາຍ)
- · ຫຼຸດຜ່ອນການສ້າງອະນຸພາກໂດຍການປ້ອງກັນການໂອນຍ້າຍວັດສະດຸ
ຂໍ້ຈຳກັດ (ຂໍ້ສັງເກດກ່ຽວກັບຄວາມແຕກຕ່າງຂອງວັດສະດຸ):
ການເຄືອບ PTFE ບໍ່ໄດ້ມາຈາກຕາຕະລາງຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸທີ່ສະໜອງໃຫ້ (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). ຄຸນສົມບັດຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນແມ່ນປະຕິບັດຕາມເອກະສານຂໍ້ມູນທີ່ສະໜອງໃຫ້ຢ່າງເຂັ້ມງວດ (99.8% Al₂O₃). ຄຸນສົມບັດການເຄືອບແມ່ນອີງໃສ່ຂໍ້ກຳນົດ PTFE ມາດຕະຖານອຸດສາຫະກຳ, ຍ້ອນວ່າບໍ່ມີຂໍ້ມູນການເຄືອບໃດໆທີ່ສະໜອງໃຫ້. ສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ເກີນ 260°C, ແນະນຳໃຫ້ໃຊ້ຕົວເຮັດເຊລາມິກທີ່ບໍ່ໄດ້ເຄືອບ.*
ການປັບແຕ່ງ:
ມີຂະໜາດຄວາມຍາວ 150–1500 ມມ, ຮູບຊົງປາຍ (ດ້າມຈັບຂອບ, Bernoulli, ຮາບພຽງ), ຮູບແບບແຜ່ນຕິດຕັ້ງຕາມຮູບແຕ້ມ OEM. ການເຄືອບບາງສ່ວນ (ສະເພາະພື້ນທີ່ສຳຜັດ) ຫຼື ການປົກຄຸມເຕັມທີ່ເປັນທາງເລືອກ.
ຂໍຕົວຢ່າງສຳລັບການທົດສອບການຍຶດຕິດ ແລະ ການສຽດທານ.
