ແຫວນປະທັບຕາເຊລາມິກອາລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງສຳລັບການປະທັບຕາຫ້ອງອຸນຫະພູມສູງ
ວົງແຫວນປະທັບຕາເຊລາມິກຂອງ St.Cera ຖືກອອກແບບມາເປັນທາງເລືອກແທນວົງແຫວນ O-ring ໂພລີເມີໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງບ່ອນທີ່ອີລາສໂຕເມີເສື່ອມສະພາບ. ຜະລິດຈາກອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ 99.8% (Al₂O₃), ວົງແຫວນປະທັບຕາແຂງນີ້ຖືກນໍາໃຊ້ໃນການປະທັບຕາສະຖິດ - ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວຈະຈັບຄູ່ກັບໂລຫະອ່ອນ ຫຼື ປະเก็นແກຣໄຟ - ເພື່ອໃຫ້ການຄວບຄຸມສູນຍາກາດ ຫຼື ອາຍແກັສທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ໃນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 800°C ແລະ ໃນສະພາບແວດລ້ອມ plasma ຫຼື ສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ. ວັດສະດຸດັ່ງກ່າວບໍ່ມີການລະບາຍອາຍແກັສອອກ, ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບີບອັດສູງ (ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດເບືອນພື້ນຖານ 361 MPa), ແລະ ຄວາມเฉื่อยชาທາງເຄມີ (ທົນທານຕໍ່ຮາໂລເຈນ, ກົດ, ແລະ ດ່າງຍົກເວັ້ນ HF). ພື້ນຜິວປະທັບຕາທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ (ຄວາມຮາບພຽງ ≤5 μm, ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ Ra ≤0.2 μm) ຮັບປະກັນການຕິດຕໍ່ທີ່ແໜ້ນໜາກັບໂລຫະ ຫຼື ສ່ວນປະກອບເຊລາມິກທີ່ຈັບຄູ່ກັນ.
ລາຍລະອຽດສະເພາະ(ອີງຕາມ 99.8% Al₂O₃):
| ຊັບສິນ | ມູນຄ່າ |
| ວັດສະດຸ | ອາລູມິນາ 99.8% (ງາຊ້າງ) |
| ຄວາມໜາແໜ້ນ | 3.93 ກຣາມ/ຊມ³ |
| ການດູດຊຶມນ້ຳ | 0% |
| ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍ | 361 MPa |
| ຄວາມແຮງບີບອັດ (ປະມານ) | >2000 MPa |
| ຄວາມແຂງຂອງວິກເກີສ | 16 ເກຣດສະເລ່ຍ |
| ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ (25–1000°C) | 7.2 × 10⁻⁶/℃ |
| ອຸນຫະພູມປະຕິບັດການສູງສຸດ | 800°C (ອາກາດ), 1600°C (ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາ) |
| ການສຳເລັດຮູບພື້ນຜິວ (ໜ້າກາກປະທັບຕາ) | Ra ≤0.2 μm (ຂັດ) |
| ຄວາມຮາບພຽງ (ຕໍ່ 25 ມມ) | ≤5 ໄມໂຄຣມ |
| ອັດຕາການຮົ່ວໄຫຼຂອງຮີລຽມ | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (ມີປະเก็นທີ່ເໝາະສົມ) |
ແອັບພລິເຄຊັນ:
- · ປະທັບຕາສະຖິດຂອງຫ້ອງຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນຳ (CVD, PVD, etch)
- · ປະທັບຕາປະຕູເຕົາອົບທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ
- · ໜ້າແປນປ້ອນຜ່ານສູນຍາກາດ
- · ການປິດທໍ່ປະຕິກອນເຄມີ
ຂະບວນການຜະລິດ:
ການກົດແບບໄອໂຊສະແຕັກ → ການເຜົາທີ່ 1600°C → ການຕົບສອງດ້ານທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງເພື່ອໃຫ້ໄດ້ໜ້າປະທັບຕາທີ່ຮາບພຽງ ແລະ ລຽບງ່າຍ → ການມຸມຂອບ → ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍຄື້ນສຽງຄວາມຖີ່ສູງ. ແຕ່ລະວົງແຫວນໄດ້ຮັບການທົດສອບການຮົ່ວໄຫຼ 100% ໃນເຄື່ອງກວດຈັບການຮົ່ວໄຫຼຂອງຮີລຽມທີ່ມີປະเก็นໂລຫະມາດຕະຖານ.
ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບ:
- · ການກວດສອບມິຕິ CMM (ID, OD, ຄວາມໜາ, ຂະໜານ)
- · ເຄື່ອງວັດແທກໂປຣໄຟລ໌ພື້ນຜິວສຳລັບ Ra ແລະ ຄວາມຄືບ
- · ການວັດແທກຄວາມຮາບພຽງໂດຍໃຊ້ optical flat
- · ການທົດສອບການຮົ່ວໄຫຼຂອງຮີລຽມ (ວິທີການກົດດັນກັບຄືນ)
ຂໍ້ໄດ້ປຽບກວ່າວົງແຫວນໂອລິມເມີ:
- ·ທົນ 800°C ທຽບກັບ <300°C ສໍາລັບ FFKM
- · ບໍ່ມີການປ່ອຍອາຍພິດອອກ — ບໍ່ມີການປົນເປື້ອນຂອງສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ
- · ທົນທານຕໍ່ສານເຄມີໃນ plasma ທຸກປະເພດ (ຟລູອໍຣີນ, ຄລໍຣີນ, ອົກຊີເຈນ)
- · ບໍ່ມີການບີບອັດ ຫຼື ການຜິດຮູບຖາວອນ
- · ອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ບໍ່ຈຳກັດໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສະອາດ
ຂໍ້ຈຳກັດ (ໝາຍເຫດສຳຄັນ):
- · ບໍ່ແມ່ນວົງແຫວນ O— ມັນເປັນແຫວນເຊລາມິກແຂງທີ່ຕ້ອງການປະเก็นອ່ອນ (ທອງແດງ, ອາລູມິນຽມ, ຫຼື ແກຣໄຟ) ເພື່ອປະທັບຕາ.
- · ບໍ່ຮອງຮັບການເຄື່ອນໄຫວແບບໄດນາມິກ ຫຼື ຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງຂອງແປນຂະໜາດໃຫຍ່.
- · ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍເບື້ອງຕົ້ນສູງກວ່າວົງແຫວນໂອລິມເປີ, ແຕ່ອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການເປັນເຈົ້າຂອງ.
- · ແຫ້ງງ່າຍ — ຈັບດ້ວຍຄວາມລະມັດລະວັງ; ຫຼີກລ່ຽງການກະທົບຈຸດ ຫຼື ຄວາມກົດດັນໃນການບິດງໍ.
ໝາຍເຫດ:ຂໍ້ມູນຂ້າງເທິງນີ້ແມ່ນປະຕິບັດຕາມຕາຕະລາງຄຸນສົມບັດ Al₂O₃ ທີ່ສະໜອງໃຫ້ຢ່າງເຂັ້ມງວດ. ບໍ່ມີຂໍ້ມູນສຳລັບວັດສະດຸອີລາສໂຕເມີຣິກທີ່ສະໜອງໃຫ້. ຜະລິດຕະພັນນີ້ແມ່ນວົງແຫວນປະທັບຕາຄົງທີ່, ບໍ່ແມ່ນວົງແຫວນໂອອີລາສໂຕເມີຣິກ. ກະລຸນາຢືນຢັນວ່າສິ່ງນີ້ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການການນຳໃຊ້ຂອງທ່ານຫຼືບໍ່.
