ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຊລາມິກ Bernoulli — ການຈັດການເວເຟີແບບບໍ່ສຳຜັດສຳລັບເວເຟີບາງ ແລະ ແຕກຫັກງ່າຍ

ເຄື່ອງປັບປາຍເຊລາມິກ Bernoulli ຂອງ St.Cera ໃຊ້ການຍົກແບບແອໂຣໄດນາມິກເພື່ອຈັບແຜ່ນເວເຟີໂດຍບໍ່ມີການສຳຜັດທາງກາຍະພາບ. ຜະລິດຈາກອະລູມິນາ 99.8% (Al₂O₃) ຫຼື ຊິລິກອນຄາໄບ (SiC) ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ມັນມີປາຍສີດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງທີ່ປ່ອຍອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມກົດດັນອອກມາເພື່ອສ້າງຟິມອາກາດບາງໆລະຫວ່າງເຄື່ອງປັບປາຍ ແລະ ແຜ່ນເວເຟີ. ຫຼັກການທີ່ບໍ່ສຳຜັດນີ້ຊ່ວຍກຳຈັດມົນລະພິດດ້ານຫຼັງ, ການບิ่นຂອບ, ແລະ ຄວາມເສຍຫາຍຂອງພື້ນຜິວ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສຳລັບແຜ່ນເວເຟີບາງ (≤100 μm), ແຕກຫັກງ່າຍ, ຫຼື ບິດເບືອນ. ຊັ້ນໃຕ້ເຊລາມິກໃຫ້ຄວາມແຂງແຮງໃນການບິດງໍສູງ (361 MPa ສຳລັບ Al₂O₃; ສູງເຖິງ 550–600 MPa ສຳລັບ SiC), ມວນສານຕໍ່າ, ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິທີ່ດີເລີດ, ຮັບປະກັນການວາງຕຳແໜ່ງທີ່ເຮັດຊ້ຳໄດ້ໃນຫຸ່ນຍົນໂອນແຜ່ນເວເຟີຄວາມໄວສູງ.

ໝາຍເຫດກ່ຽວກັບວັດສະດຸ:ອາລູມິນາ (Al₂O₃) ເປັນວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ກັນຢ່າງກວ້າງຂວາງທີ່ສຸດສຳລັບຕົວເຮັດເຊລາມິກໃນການຈັດການແຜ່ນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳ ເນື່ອງຈາກມີການປະສົມປະສານທີ່ດີເລີດຂອງຄວາມແຂງ, ການສນວນໄຟຟ້າ, ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີ, ແລະ ປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນ. ຊິລິກອນຄາໄບ (SiC) ສະເໜີຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນສູງກວ່າ, ຄວາມແຂງສູງກວ່າ, ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ທີ່ດີກວ່າສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ຕ້ອງການຄວາມຕ້ອງການຫຼາຍທີ່ສຸດ. ໃນຂະນະທີ່ເຊີໂຄເນຍທີ່ມີຄວາມໝັ້ນຄົງກັບ yttria (ZrO₂) ສະເໜີຄວາມທົນທານໃນການແຕກຫັກສູງໃນອຸນຫະພູມຫ້ອງ, ມັນບໍ່ຄ່ອຍຖືກນໍາໃຊ້ໃນການນຳໃຊ້ນີ້ເນື່ອງຈາກຄວາມໜາແໜ້ນສູງ ແລະ ລັກສະນະການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ; ມັນອາດຈະຖືກພິຈາລະນາສຳລັບສະຖານະການສະເພາະທີ່ຕ້ອງການຄວາມທົນທານໃນການແຕກຫັກທີ່ໂດດເດັ່ນ. ກະລຸນາປຶກສາທີມງານດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາສຳລັບຄຳແນະນຳໃນການເລືອກວັດສະດຸ.

ລາຍລະອຽດສະເພາະ(ອີງຕາມ 99.8% Al₂O₃):

ຫຼັກການດໍາເນີນງານ:

ອາກາດທີ່ຖືກບີບອັດ ຫຼື ໄນໂຕຣເຈນ (0.2–0.6 MPa) ຖືກສະໜອງຜ່ານຊ່ອງທາງພາຍໃນ ແລະ ອອກຜ່ານປາຍສີດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ. ກະແສລົມທີ່ເລັ່ງຂຶ້ນຈະສ້າງເຂດຄວາມກົດດັນຕ່ຳເໜືອຕົວກະຕຸ້ນສຸດທ້າຍ (ຜົນກະທົບຂອງ Bernoulli), ສ້າງແຮງຍົກທີ່ຮອງຮັບແຜ່ນເວເຟີຢູ່ທີ່ຊ່ອງຫວ່າງ 50–200 μm. ບໍ່ມີຮູສູນຍາກາດ ຫຼື ແຜ່ນຮອງສຳຜັດກັບດ້ານຫຼັງຂອງແຜ່ນເວເຟີ.

ແອັບພລິເຄຊັນ:

• · ການຈັບແຜ່ນບາງໆ (≤50 μm) ຫຼັງຈາກການບົດດ້ານຫຼັງ
• · ການຂົນສົ່ງແຜ່ນເວເຟີທີ່ບິດເບືອນ (ເຊັ່ນ: ຫຼັງຈາກ CVD ຫຼື ການອົບແຫ້ງ)
• · ການໂອນຍ້າຍແຜ່ນຮອງເຊວແສງອາທິດ ແລະ ຊັ້ນວາງ LED sapphire
• · ລະບົບອັດຕະໂນມັດຂອງຫ້ອງສະອາດທີ່ຕ້ອງການການສ້າງອະນຸພາກສູນ
• · ການຈັດການແຜງກະຈົກໃນການຜະລິດຈໍສະແດງຜົນ

ຂະບວນການຜະລິດ:

ວັດສະດຸເຊລາມິກທີ່ເຜົາຈາກຜົງທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ → ການເຄື່ອງຈັກ CNC 5 ແກນຂອງທໍ່ອາຍແກັສ ແລະ ຮູປາຍສີດ (ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ 0.3–1.0 ມມ, ຄວາມທົນທານ ±0.01 ມມ) → ການຂັດໜ້າດິນໃຫ້ Ra ≤0.4 μm → ການທຳຄວາມສະອາດດ້ວຍຄື້ນສຽງ ultrasonic → ການທົດສອບການຮົ່ວໄຫຼຂອງຮີລຽມ (ທໍ່ອາຍແກັສ). ບໍ່ຕ້ອງການການເຄືອບ — ໜ້າດິນເຊລາມິກທີ່ເປົ່າແມ່ນບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີ ແລະ ບໍ່ປົນເປື້ອນ.

ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບ:

• · ການກວດກາຂະໜາດ (CMM) 100% ຂອງຕຳແໜ່ງຂອງປາຍສີດ, ຄວາມຍາວຂອງແຂນ, ແລະ ຄວາມຮາບພຽງ
• · ການທົດສອບຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການໄຫຼຂອງອາກາດ: ການຫຼຸດລົງຂອງຄວາມດັນ ≤5% ໃນທຸກປາຍສີດ
• · ການທົດສອບການຮົ່ວໄຫຼ: ຊ່ອງອາຍແກັສທີ່ປິດສະໜິດຢູ່ທີ່ 0.6 MPa, ບໍ່ມີການຫຼຸດລົງຂອງຄວາມດັນໃນໄລຍະ 30 ວິນາທີ
• · ການກວດກາດ້ວຍຕາພາຍໃຕ້ກ້ອງຈຸລະທັດ 20× ສຳລັບຮອຍແຕກຂະໜາດນ້ອຍ ຫຼື ຮອຍຂະໜານ

Aຂໍ້ໄດ້ປຽບກວ່າຕົວສົ່ງສັນຍານຕິດຕໍ່ແບບທຳມະດາ:

• · ບໍ່ມີມົນລະພິດດ້ານຫຼັງຂອງແຜ່ນເວເຟີ — ບໍ່ມີການສຳຜັດທາງກົນຈັກ
• · ບໍ່ມີຮອຍບิ่นຂອບ ຫຼື ຮອຍແຕກຂອງແຜ່ນບາງໆ
• · ຈັດການກັບແຜ່ນເວເຟີທີ່ບິດເບືອນ (ໜ້າໂຄ້ງສູງສຸດ 1 ມມ) ທີ່ມີຊ່ອງຫວ່າງທີ່ໝັ້ນຄົງ
• · ກຳຈັດເຄື່ອງກຳເນີດສູນຍາກາດ ແລະ ການບຳລຸງຮັກສາຫົວສີດທີ່ມີຮູພຸນ
• · ໂຄງສ້າງເຊລາມິກຕ້ານທານກັບການສວມໃສ່ ແລະ ການໂຈມຕີທາງເຄມີ

ການປັບແຕ່ງ:

• · ມີໃຫ້ສຳລັບຂະໜາດແຜ່ນເວເຟີ 200 ມມ, 300 ມມ, ຫຼື ຂະໜາດທີ່ກຳນົດເອງ
• · ຮູບແບບປາຍສີດແກັສ: ປະເພດຊື່, ມຸມ, ຫຼື ແບບວົນ
• · ວັດສະດຸ: ອະລູມິນາ (ມາດຕະຖານ) ຫຼື ຊິລິກອນຄາໄບ (ສຳລັບຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນສູງສຸດ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່)
• · ຄວາມຍາວຂອງແຂນ, ໜ້າແປນຕິດຕັ້ງ, ແລະ ຕຳແໜ່ງພອດອາຍແກັສຕາມຮູບແຕ້ມ OEM

ຂໍ້ຈຳກັດ:

ການຈັດຕັ້ງປະຕິບັດຫຼັກການ Bernoulli (ການອອກແບບຫົວສີດ, ຊ່ອງຫວ່າງອາກາດ) ແມ່ນຢູ່ນອກເໜືອຂອບເຂດຂອງຕາຕະລາງຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸທີ່ສະໜອງໃຫ້. ຄຸນສົມບັດທາງກົນຈັກ ແລະ ຄວາມຮ້ອນຂ້າງເທິງນີ້ແມ່ນປະຕິບັດຕາມເອກະສານຂໍ້ມູນທີ່ສະໜອງໃຫ້ສຳລັບ 99.8% Al₂O₃ ຢ່າງເຂັ້ມງວດ. ບໍ່ຄາດວ່າຈະມີການເສື່ອມສະພາບປະສິດທິພາບຂອງເຊລາມິກພາຍໃຕ້ກະແສອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມກົດດັນໂດຍອີງໃສ່ຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸເຫຼົ່ານີ້. ສຳລັບແຜ່ນເວເຟີທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບກະແສອາຍແກັສ (ເຊັ່ນ: MEMS ທີ່ມີໂຄງສ້າງທີ່ແຕກຫັກງ່າຍ), ຄວາມດັນອາຍແກັສ ແລະ ການອອກແບບຫົວສີດຄວນໄດ້ຮັບການປັບຕາມຄວາມເໝາະສົມ.