-
ຊິ້ນສ່ວນເຊລາມິກວົງແຫວນເຊລາມິກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຂອງອາລູມິນາ
ຊິ້ນສ່ວນອາໄຫຼ່ເຊລາມິກທີ່ສ້າງຂຶ້ນໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ ແລະ ເຜົາພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງ, ຈາກນັ້ນເຄື່ອງຈັກ ແລະ ຂັດເງົາຢ່າງແມ່ນຍຳ, ສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຄັ່ງຄັດຂອງອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳດ້ວຍຄຸນສົມບັດຕ່າງໆເຊັ່ນ: ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ, ແລະ ການກັນຄວາມຮ້ອນ. ເຊລາມິກສາມາດໃຊ້ງານໄດ້ໃນອຸປະກອນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຫຼາຍຊະນິດທີ່ມີສະພາບອຸນຫະພູມສູງ, ສູນຍາກາດ ຫຼື ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນເປັນເວລາດົນນານ.
ເຮັດຈາກຜົງອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ປຸງແຕ່ງໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ, ການເຜົາດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ການສຳເລັດຮູບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ມັນສາມາດບັນລຸຄວາມທົນທານຂອງມິຕິໄດ້ເຖິງ ±0.001 ມມ, ຜິວໜ້າ Ra 0.1, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມ 1600 ℃.
-
ST.CERA ອຸປະກອນເຊມິຄອນດັກເຕີທີ່ກຳນົດເອງ
ຊິ້ນສ່ວນອາໄຫຼ່ເຊລາມິກທີ່ສ້າງຂຶ້ນໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ ແລະ ເຜົາພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງ, ຈາກນັ້ນເຄື່ອງຈັກ ແລະ ຂັດເງົາຢ່າງແມ່ນຍຳ, ສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຄັ່ງຄັດຂອງອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳດ້ວຍຄຸນສົມບັດຕ່າງໆເຊັ່ນ: ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ, ແລະ ການກັນຄວາມຮ້ອນ. ເຊລາມິກສາມາດໃຊ້ງານໄດ້ໃນອຸປະກອນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຫຼາຍຊະນິດທີ່ມີສະພາບອຸນຫະພູມສູງ, ສູນຍາກາດ ຫຼື ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນເປັນເວລາດົນນານ.
ເຮັດຈາກຜົງອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ປຸງແຕ່ງໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ, ການເຜົາດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ການສຳເລັດຮູບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ມັນສາມາດບັນລຸຄວາມທົນທານຂອງມິຕິໄດ້ເຖິງ ±0.001 ມມ, ຜິວໜ້າ Ra 0.1, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມ 1600 ℃.
-
ຕົວສົ່ງຜົນສຸດທ້າຍເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ (SiC) - ຄວາມແຂງກະດ້າງສູງສຳລັບການຈັດການເວເຟີທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ
ເຄື່ອງຕັດປາຍເຊລາມິກ SiC ຂອງ St.Cera ແມ່ນຜະລິດຈາກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (ປະລິມານ SiC 99.72%, Si ເສລີ 0.05%) ໂດຍໃຊ້ວັດສະດຸ S1111. ມັນມີຄຸນສົມບັດທາງກົນຈັກທີ່ໂດດເດັ່ນ: ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍ 449 MPa (ວັດແທກ), ໂມດູນຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ 457 GPa (ວັດແທກ), ແລະຄວາມແຂງຂອງ Vickers 25–28 GPa (ປົກກະຕິ). ຄວາມໜາແໜ້ນຕໍ່າ (3.10–3.15 g/cm³, ປົກກະຕິ) ໃຫ້ຄວາມແຂງກະດ້າງສະເພາະສູງ, ເໝາະສຳລັບຫຸ່ນຍົນໂອນເວເຟີຄວາມໄວສູງ. ດ້ວຍຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນ 120–150 W/m·K (ປົກກະຕິ) ແລະສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (ປົກກະຕິ), ເຄື່ອງຕັດປາຍນີ້ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ ແລະຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິໃນລະຫວ່າງການຈັດການອຸນຫະພູມສູງ (ສູງເຖິງ 1600–1700°C, ບໍ່ມີການໂຫຼດ). ສີດຳ/ສີເທົາ ແລະສູນການດູດຊຶມນ້ຳຮັບປະກັນຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງຫ້ອງທີ່ສະອາດ.
-
ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນທີ່ອີງໃສ່ຊິລິກອນຄາໄບ (SiC) ສຳລັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ພລາສມາ
ຫົວຈັບເຊລາມິກທີ່ເຮັດດ້ວຍ SiC ຂອງ St.Cera ແມ່ນຜະລິດຈາກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (ຊຸດ S1111, SiC 99.72%, Si ເສລີ 0.05%). ມັນໃຫ້ຄວາມແຂງແຮງໃນການບິດງໍທີ່ວັດແທກໄດ້ 449 MPa, ຄວາມທົນທານຂອງການແຕກຫັກ 3.12 MPa·m¹/², ແລະໂມດູລັດຍືດ 457 GPa. ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນໂດຍສະເລ່ຍຂອງວັດສະດຸ (120–150 W/m·K) ແລະການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) ຊ່ວຍໃຫ້ອຸນຫະພູມເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງໄວວາ ແລະ ການບິດເບືອນຂອງແຜ່ນເວເຟີໜ້ອຍທີ່ສຸດໃນລະຫວ່າງວົງຈອນຄວາມຮ້ອນ. ຫົວຈັບສາມາດຕັ້ງຄ່າເປັນຫົວຈັບສູນຍາກາດທີ່ມີຮູພຸນ (ການໄຫຼຂອງອາຍແກັສທີ່ເປັນເອກະພາບ) ຫຼື ຫົວຈັບມາດຕະຖານທີ່ມີຮ່ອງ. ດ້ວຍອຸນຫະພູມການນຳໃຊ້ສູງສຸດ 1600–1700°C (ບໍ່ມີການໂຫຼດ) ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການກັດເຊາະຂອງພລາສມາທີ່ໂດດເດັ່ນ, ຫົວຈັບນີ້ເໝາະສຳລັບການປຸງແຕ່ງແຜ່ນເວເຟີທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ (ການອົບແຫ້ງ, RTP) ແລະ ຫ້ອງແກະສະຫຼັກທີ່ຮຸນແຮງບ່ອນທີ່ຫົວຈັບອາລູມີນາເສື່ອມສະພາບ.
-
ອຸປະກອນເຊມິຄອນດັກເຕີ ຊິ້ນສ່ວນອາໄຫຼ່ເຊລາມິກ ຕົວຮັບເຊລາມິກ
ຊິ້ນສ່ວນອາໄຫຼ່ເຊລາມິກທີ່ສ້າງຂຶ້ນໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ ແລະ ເຜົາພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງ, ຈາກນັ້ນເຄື່ອງຈັກ ແລະ ຂັດເງົາຢ່າງແມ່ນຍຳ, ສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຄັ່ງຄັດຂອງອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳດ້ວຍຄຸນສົມບັດຕ່າງໆເຊັ່ນ: ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ, ແລະ ການກັນຄວາມຮ້ອນ. ເຊລາມິກສາມາດໃຊ້ງານໄດ້ໃນອຸປະກອນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຫຼາຍຊະນິດທີ່ມີສະພາບອຸນຫະພູມສູງ, ສູນຍາກາດ ຫຼື ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນເປັນເວລາດົນນານ.
ເຮັດຈາກຜົງອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ປຸງແຕ່ງໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ, ການເຜົາດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ການສຳເລັດຮູບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ມັນສາມາດບັນລຸຄວາມທົນທານຂອງມິຕິໄດ້ເຖິງ ±0.001 ມມ, ຜິວໜ້າ Ra 0.1, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມ 1600 ℃.
-
ວົງແຫວນຂັດເຊລາມິກອາລູມິນາທີ່ມີໂລຫະຄ້ຳຫຼັງສຳລັບການໃຊ້ງານຂັດທີ່ມີຄວາມແຂງແກ່ນສູງ
ວົງແຫວນບົດອາລູມິນາທີ່ເຮັດດ້ວຍໂລຫະຂອງ St.Cera ປະສົມປະສານຊັ້ນສວມໃສ່ເຊລາມິກອາລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (99.8% Al₂O₃) ກັບວັດສະດຸຮອງໂລຫະທີ່ຜະລິດດ້ວຍເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ (ໂດຍປົກກະຕິແມ່ນອາລູມິນຽມ ຫຼື ເຫຼັກສະແຕນເລດ). ການອອກແບບປະສົມນີ້ໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ ແລະ ຄວາມเฉื่อยชาທາງເຄມີທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງເຊລາມິກເທິງໜ້າດິນບົດ, ໃນຂະນະທີ່ພື້ນຖານໂລຫະເພີ່ມຄວາມແຂງແຮງທາງກົນຈັກ, ການຕິດຕັ້ງງ່າຍ, ແລະ ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການແຕກຫັກທີ່ແຕກງ່າຍ. ຊັ້ນອາລູມິນາໃຫ້ຄວາມແຂງແຮງໃນການບິດງໍ 361 MPa, ຄວາມແຂງຂອງ Vickers 16 GPa, ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນສູງເຖິງ 800°C. ພື້ນຖານໂລຫະຖືກປັບແຕ່ງດ້ວຍຮູຕິດຕັ້ງ, ໝຸດກຳນົດຕຳແໜ່ງ, ຫຼື ຄຸນສົມບັດແມ່ເຫຼັກສຳລັບການລວມເຂົ້າກັບເຄື່ອງຂັດ, ເຄື່ອງບົດດາວເຄາະ, ແລະ ອຸປະກອນ CMP.
-
ຊິ້ນສ່ວນອາໄຫຼ່ເຊລາມິກສຳລັບອຸປະກອນສະຖານີກວດສອບເຄິ່ງຕົວນຳ
ຊິ້ນສ່ວນອາໄຫຼ່ເຊລາມິກທີ່ສ້າງຂຶ້ນໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ ແລະ ເຜົາພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງ, ຈາກນັ້ນເຄື່ອງຈັກ ແລະ ຂັດເງົາຢ່າງແມ່ນຍຳ, ສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຄັ່ງຄັດຂອງອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳດ້ວຍຄຸນສົມບັດຕ່າງໆເຊັ່ນ: ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ, ແລະ ການກັນຄວາມຮ້ອນ. ເຊລາມິກສາມາດໃຊ້ງານໄດ້ໃນອຸປະກອນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຫຼາຍຊະນິດທີ່ມີສະພາບອຸນຫະພູມສູງ, ສູນຍາກາດ ຫຼື ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນເປັນເວລາດົນນານ.
ເຮັດຈາກຜົງອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ປຸງແຕ່ງໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ, ການເຜົາດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ການສຳເລັດຮູບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ມັນສາມາດບັນລຸຄວາມທົນທານຂອງມິຕິໄດ້ເຖິງ ±0.001 ມມ, ຜິວໜ້າ Ra 0.1, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມ 1600 ℃.
-
ການປຸງແຕ່ງແບບກຳນົດເອງຂອງ Al2O3 Ceramic Wafer Chuck
ຊິ້ນສ່ວນອາໄຫຼ່ເຊລາມິກທີ່ສ້າງຂຶ້ນໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ ແລະ ເຜົາພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງ, ຈາກນັ້ນເຄື່ອງຈັກ ແລະ ຂັດເງົາຢ່າງແມ່ນຍຳ, ສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຄັ່ງຄັດຂອງອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳດ້ວຍຄຸນສົມບັດຕ່າງໆເຊັ່ນ: ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ, ແລະ ການກັນຄວາມຮ້ອນ. ເຊລາມິກສາມາດໃຊ້ງານໄດ້ໃນອຸປະກອນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຫຼາຍຊະນິດທີ່ມີສະພາບອຸນຫະພູມສູງ, ສູນຍາກາດ ຫຼື ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນເປັນເວລາດົນນານ.
ເຮັດຈາກຜົງອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ປຸງແຕ່ງໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ, ການເຜົາດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ການສຳເລັດຮູບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ມັນສາມາດບັນລຸຄວາມທົນທານຂອງມິຕິໄດ້ເຖິງ ±0.001 ມມ, ຜິວໜ້າ Ra 0.1, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມ 1600 ℃.
-
ແຜ່ນເຊລາມິກອຸປະກອນເຊມິຄອນດັກເຕີທີ່ກຳນົດເອງຂອງ ST.CERA
ຊິ້ນສ່ວນອາໄຫຼ່ເຊລາມິກທີ່ສ້າງຂຶ້ນໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ ແລະ ເຜົາພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງ, ຈາກນັ້ນເຄື່ອງຈັກ ແລະ ຂັດເງົາຢ່າງແມ່ນຍຳ, ສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຄັ່ງຄັດຂອງອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳດ້ວຍຄຸນສົມບັດຕ່າງໆເຊັ່ນ: ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ, ແລະ ການກັນຄວາມຮ້ອນ. ເຊລາມິກສາມາດໃຊ້ງານໄດ້ໃນອຸປະກອນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຫຼາຍຊະນິດທີ່ມີສະພາບອຸນຫະພູມສູງ, ສູນຍາກາດ ຫຼື ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນເປັນເວລາດົນນານ.
ເຮັດຈາກຜົງອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ປຸງແຕ່ງໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ, ການເຜົາດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ການສຳເລັດຮູບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ມັນສາມາດບັນລຸຄວາມທົນທານຂອງມິຕິໄດ້ເຖິງ ±0.001 ມມ, ຜິວໜ້າ Ra 0.1, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມ 1600 ℃.
-
ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນອາລູມິນາຂະໜາດ 12 ນິ້ວ ສຳລັບການປຸງແຕ່ງແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 300 ມມ
ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນຂະໜາດ 12 ນິ້ວຂອງ St.Cera ໄດ້ຮັບວິສະວະກຳທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງຈາກອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ 99.8% (Al₂O₃) ສຳລັບການຈັດການເວເຟີຂະໜາດ 300 ມມ. ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນມີໜ້າຜິວທີ່ມີຮ່ອງລະອຽດ (ຄວາມກວ້າງຂອງຮ່ອງ 0.5–1.0 ມມ, ຄວາມສູງ 2–3 ມມ) ເພື່ອຮັບປະກັນການແຈກຢາຍສູນຍາກາດຢ່າງເປັນເອກະພາບທົ່ວເສັ້ນຜ່າສູນກາງ 300 ມມ. ຄວາມຮາບພຽງຖືກຮັກສາໄວ້ພາຍໃນ 5 μm, ເຮັດໃຫ້ການຕິດແຜ່ນເວເຟີບໍ່ມີການບິດງໍໃນລະຫວ່າງການຫັ່ນ, ການບົດດ້ານຫຼັງ, ແລະ ການກວດກາ. ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍສູງ (361 MPa) ແລະຄວາມແຂງ (16 GPa) ຂອງວັດສະດຸຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິໃນໄລຍະຍາວເຖິງແມ່ນວ່າຈະຢູ່ພາຍໃຕ້ວົງຈອນສູນຍາກາດຊ້ຳໆ.
-
ຕົວສົ່ງຜົນສຸດທ້າຍເຊລາມິກອາລູມິນາພ້ອມດ້ວຍຊ່ອງສູນຍາກາດປະສົມປະສານ
ເຄື່ອງສົ່ງຜົນສູນຍາກາດອະລູມິນາຂອງ St.Cera ປະສົມປະສານຊ່ອງທາງສູນຍາກາດ ແລະ ຮູດູດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງເຂົ້າກັບຕົວອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ 99.8%. ການອອກແບບນີ້ລົບລ້າງແຜ່ນສູນຍາກາດພາຍນອກ, ເຮັດໃຫ້ສາມາດເກັບແຜ່ນເວເຟີໄດ້ໂດຍກົງດ້ວຍແຮງຍຶດທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີ. ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍສູງ (361 MPa) ແລະ ຄວາມແຂງ (16 GPa) ຂອງວັດສະດຸຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງທາງມິຕິໃນໄລຍະຍາວພາຍໃຕ້ວົງຈອນສູນຍາກາດຊ້ຳໆ. ຄວາມຮາບພຽງທົ່ວພື້ນທີ່ແຜ່ນຖືກຮັກສາໄວ້ພາຍໃນ 10 μm, ປ້ອງກັນຄວາມກົດດັນ ແລະ ການແຕກຫັກຂອງແຜ່ນເວເຟີ. ຮູສູນຍາກາດຕັ້ງຢູ່ທີ່ຂອບຕິດຕັ້ງດ້ານຫຼັງເພື່ອງ່າຍຕໍ່ການເຊື່ອມໂຍງກັບແຂນຫຸ່ນຍົນ OEM.
-
ຊິ້ນສ່ວນເຊລາມິກອາລູມິນາທີ່ປອດໄພຕໍ່ ESD ສຳລັບການຈັດການແຜ່ນເວເຟີທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ໄຟຟ້າສະຖິດ
ຊິ້ນສ່ວນເຊລາມິກອະລູມິນາທີ່ປອດໄພຕໍ່ ESD (ການປະລະจุໄຟຟ້າສະຖິດ) ຂອງ St.Cera ແມ່ນຜະລິດຈາກ Al₂O₃ ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ 99.8% ດ້ວຍຄວາມຕ້ານທານຂອງພື້ນຜິວທີ່ປັບແຕ່ງໄດ້ 10⁶–10⁹ Ω/sq, ເຊິ່ງບັນລຸໄດ້ຜ່ານຂະບວນການເສີມຫຼືເຄືອບທີ່ເປັນເຈົ້າຂອງ. ຊິ້ນສ່ວນເຫຼົ່ານີ້ກະຈາຍປະຈຸໄຟຟ້າສະຖິດໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ປ້ອງກັນຄວາມເສຍຫາຍຈາກໄຟຟ້າສະຖິດຕໍ່ແຜ່ນເວເຟີແລະອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວ. ວັດສະດຸພື້ນຖານຍັງຄົງຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍສູງ (361 MPa), ຄວາມແຂງ (16 GPa), ແລະຄວາມແຂງແຮງຂອງໄດອີເລັກຕຣິກ (15×10⁶ V/m). ຊິ້ນສ່ວນເຊລາມິກທີ່ປອດໄພຕໍ່ ESD ປະກອບມີຕົວຕີ, ໝຸດຍົກ, ຮາງນຳທາງ, ແລະອຸປະກອນຕິດຕັ້ງທີ່ກຳນົດເອງສຳລັບລະບົບອັດຕະໂນມັດ FAB.
