ຕົວສົ່ງຜົນສຸດທ້າຍເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ (SiC) - ຄວາມແຂງກະດ້າງສູງສຳລັບການຈັດການເວເຟີທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ
ເຄື່ອງຕັດປາຍເຊລາມິກ SiC ຂອງ St.Cera ແມ່ນຜະລິດຈາກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (ປະລິມານ SiC 99.72%, Si ເສລີ 0.05%) ໂດຍໃຊ້ວັດສະດຸ S1111. ມັນມີຄຸນສົມບັດທາງກົນຈັກທີ່ໂດດເດັ່ນ: ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍ 449 MPa (ວັດແທກ), ໂມດູນຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ 457 GPa (ວັດແທກ), ແລະຄວາມແຂງຂອງ Vickers 25–28 GPa (ປົກກະຕິ). ຄວາມໜາແໜ້ນຕໍ່າ (3.10–3.15 g/cm³, ປົກກະຕິ) ໃຫ້ຄວາມແຂງກະດ້າງສະເພາະສູງ, ເໝາະສຳລັບຫຸ່ນຍົນໂອນເວເຟີຄວາມໄວສູງ. ດ້ວຍຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນ 120–150 W/m·K (ປົກກະຕິ) ແລະສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (ປົກກະຕິ), ເຄື່ອງຕັດປາຍນີ້ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ ແລະຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິໃນລະຫວ່າງການຈັດການອຸນຫະພູມສູງ (ສູງເຖິງ 1600–1700°C, ບໍ່ມີການໂຫຼດ). ສີດຳ/ສີເທົາ ແລະສູນການດູດຊຶມນ້ຳຮັບປະກັນຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງຫ້ອງທີ່ສະອາດ.
ລາຍລະອຽດສະເພາະ(ອີງຕາມບົດລາຍງານການທົດສອບ SiC S1111 ທີ່ສະໜອງໃຫ້ ແລະ ຄ່າປົກກະຕິ)):
| ຊັບສິນ | ມູນຄ່າ |
| ວັດສະດຸ | SiC (99.72% SiC, 0.05% Si ອິດສະຫຼະ) |
| ສີ | ດຳ/ເທົາ |
| ຄວາມໜາແໜ້ນ | 3.10–3.15 ກຣາມ/ຊມ³ |
| ການດູດຊຶມນ້ຳ | 0% |
| ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍ | 449 MPa (ສະເລ່ຍ) |
| ຄວາມທົນທານຂອງການແຕກຫັກ | 3.12 MPa·m¹/² (ສະເລ່ຍ) |
| ໂມດູນຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ | 457 ເກຣດສະເລ່ຍ |
| ຄວາມແຂງຂອງວິກເກີສ | 25–28 GPa |
| ການນຳຄວາມຮ້ອນ (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5 × 10⁻⁶/℃ |
| ອຸນຫະພູມສູງສຸດ (ບໍ່ມີການໂຫຼດ) | 1600–1700°C |
ແອັບພລິເຄຊັນ:
● ການຈັດການແຜ່ນເວເຟີທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ (ຫຼັງການອຸ່ນ, RTP, epitaxy)
● ຫ້ອງແກະສະຫຼັກພລາສມາທີ່ຕ້ອງການຄວາມຕ້ານທານການກັດເຊາະສູງ
● ຫຸ່ນຍົນໂອນຍ້າຍຄວາມໄວສູງ (ນ້ຳໜັກເບົາ, ຄວາມແຂງກະດ້າງສູງ)
ການຜະລິດ:
ການເຜົາຜົງ SiC → ການຂັດ CNC ແບບແມ່ນຍໍາຂອງໂປຣໄຟລ໌ແຂນ ແລະ ຄຸນສົມບັດການຕິດຕັ້ງ → ການຂັດໜ້າດິນ → ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍ ultrasonic. ການກວດກາມິຕິ 100% ແລະ ການທົດສອບການຮົ່ວໄຫຼຂອງຮີລຽມສຳລັບການນຳໃຊ້ໃນສູນຍາກາດ.
ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບ:
● ການກວດສອບຄວາມຍາວ, ຄວາມກວ້າງ ແລະ ຄວາມຮາບພຽງຂອງ CMM
● ການທົດສອບຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍຕໍ່ຊຸດ (ຕາມມາດຕະຖານບົດລາຍງານການທົດສອບ)
● ການກວດກາດ້ວຍຕາພາຍໃຕ້ກ້ອງຈຸລະທັດເພື່ອຊອກຫາຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງພື້ນຜິວ
ຂໍ້ໄດ້ປຽບກວ່າອາລູມິນາ ຫຼື ໂລຫະ:
● ໂມດູລັດຄວາມຍືດຫຍຸ່ນສູງກວ່າ 2× (457 ທຽບກັບ ~380 GPa ສຳລັບອະລູມິນາ) – ການໂຄ້ງງໍໜ້ອຍລົງ
● ການນຳຄວາມຮ້ອນສູງຂຶ້ນ 3 ເທົ່າ - ການລະບາຍຄວາມຮ້ອນໄວຂຶ້ນ
● ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມ >1600°C ທຽບກັບ 800°C ຂອງອະລູມິນາໃນອາກາດ
● ຄວາມໜາແໜ້ນຕ່ຳກວ່າເຫຼັກກ້າ – ນ້ຳໜັກຫຼຸດລົງ 40%
ການປັບແຕ່ງ:
ຄວາມຍາວ 150–450 ມມ, ຮູບຊົງປາຍ (ດ້າມຈັບຂອບ, Bernoulli, ຮາບພຽງ), ຮູບແບບແຜ່ນຕິດຕັ້ງຕາມແບບ OEM.
*ຂໍ້ມູນກົນຈັກທັງໝົດຂ້າງເທິງນີ້ແມ່ນມາຈາກບົດລາຍງານການທົດສອບທີ່ສະໜອງໃຫ້ (ຊຸດ S1111). ຄ່າຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄ່າຄວາມແຂງແມ່ນຄ່າປົກກະຕິສຳລັບຊັ້ນ SiC ນີ້; ກະລຸນາຕິດຕໍ່ພວກເຮົາເພື່ອຂໍການຢັ້ງຢືນສະເພາະຂອງລ໋ອດ.*
