-
ແຂນຫຸ່ນຍົນເຊລາມິກອາລູມິນາຄວາມບໍລິສຸດສູງສຳລັບການຈັດການແຜ່ນເວເຟີ
ແຂນຫຸ່ນຍົນເຊລາມິກອາລູມິນາຂອງ St.Cera ແມ່ນວິສະວະກຳທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຈາກ Al₂O₃ (ອາລູມິນາ) ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ 99.8%. ມັນປະສົມປະສານຄວາມແຂງແຮງໃນການບິດງໍທີ່ໂດດເດັ່ນ (361 MPa), ຄວາມແຂງສູງ (16 GPa), ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຕໍ່າ (3.93 g/cm³), ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ແຂນມີນ້ຳໜັກເບົາແຕ່ແຂງກະດ້າງສຳລັບການໂອນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳ. ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຂອງວັດສະດຸ (7.2×10⁻⁶/°C) ກົງກັບຊິລິໂຄນຢ່າງໃກ້ຊິດ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມບໍ່ກົງກັນທາງຄວາມຮ້ອນໃນລະຫວ່າງການປະມວນຜົນ.
-
ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຊລາມິກ Bernoulli — ການຈັດການເວເຟີແບບບໍ່ສຳຜັດສຳລັບເວເຟີບາງ ແລະ ແຕກຫັກງ່າຍ
ເຄື່ອງປັບປາຍເຊລາມິກ Bernoulli ຂອງ St.Cera ໃຊ້ການຍົກແບບແອໂຣໄດນາມິກເພື່ອຈັບແຜ່ນເວເຟີໂດຍບໍ່ມີການສຳຜັດທາງກາຍະພາບ. ຜະລິດຈາກອະລູມິນາ 99.8% (Al₂O₃) ຫຼື ຊິລິກອນຄາໄບ (SiC) ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ມັນມີປາຍສີດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງທີ່ປ່ອຍອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມກົດດັນອອກມາເພື່ອສ້າງຟິມອາກາດບາງໆລະຫວ່າງເຄື່ອງປັບປາຍ ແລະ ແຜ່ນເວເຟີ. ຫຼັກການທີ່ບໍ່ສຳຜັດນີ້ຊ່ວຍກຳຈັດມົນລະພິດດ້ານຫຼັງ, ການບิ่นຂອບ, ແລະ ຄວາມເສຍຫາຍຂອງພື້ນຜິວ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສຳລັບແຜ່ນເວເຟີບາງ (≤100 μm), ແຕກຫັກງ່າຍ, ຫຼື ບິດເບືອນ. ຊັ້ນໃຕ້ເຊລາມິກໃຫ້ຄວາມແຂງແຮງໃນການບິດງໍສູງ (361 MPa ສຳລັບ Al₂O₃; ສູງເຖິງ 550–600 MPa ສຳລັບ SiC), ມວນສານຕໍ່າ, ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິທີ່ດີເລີດ, ຮັບປະກັນການວາງຕຳແໜ່ງທີ່ເຮັດຊ້ຳໄດ້ໃນຫຸ່ນຍົນໂອນແຜ່ນເວເຟີຄວາມໄວສູງ.
-
ຕົວສົ່ງຜົນສຸດທ້າຍເຊລາມິກເຄືອບ Teflon - ໜ້າດິນທີ່ບໍ່ຕິດ ສຳລັບການຈັດການແຜ່ນເວເຟີທີ່ລະອຽດອ່ອນ
ຕົວແກ້ໄຂສຸດທ້າຍເຊລາມິກເຄືອບ Teflon (PTFE) ຂອງ St.Cera ປະສົມປະສານຊັ້ນຮອງພື້ນອາລູມີນາທີ່ມີຄວາມແຂງແຮງສູງກັບການເຄືອບ PTFE ທີ່ມີຄວາມສຽດທານຕ່ຳ ແລະ ເປັນເອກະພາບ (ຄວາມໜາ 15–30 μm). ການເຄືອບດັ່ງກ່າວໃຫ້ຄ່າສຳປະສິດຄວາມສຽດທານຕໍ່າຫຼາຍ (≤0.1), ທົນທານຕໍ່ສານເຄມີທີ່ດີເລີດ, ແລະ ຄຸນສົມບັດທີ່ບໍ່ຕິດ, ປ້ອງກັນການຍຶດຕິດຂອງແຜ່ນແພ ແລະ ກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນດ້ານຫຼັງ. ຊັ້ນຮອງພື້ນເຊລາມິກພື້ນຖານ (99.8% Al₂O₃) ໃຫ້ຄວາມແຂງແຮງໃນການບິດງໍສູງ (361–1000 MPa), ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່, ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນສູງເຖິງ 260°C (ຂີດຈຳກັດການເຄືອບ). ຕົວແກ້ໄຂສຸດທ້າຍນີ້ແມ່ນເໝາະສົມທີ່ສຸດສຳລັບການຈັດການກັບແຜ່ນແພທີ່ລະອຽດອ່ອນ, ບາງ, ຫຼື ໜຽວ (ເຊັ່ນ, ຫຼັງຈາກການເຄືອບ photoresist ຫຼື ຂະບວນການທາງເຄມີ).
