ແຜ່ນແຈກຈ່າຍອາຍແກັສອາລູມິນາສຳລັບຫົວຝັກບົວ CVD/PVD
ແຜ່ນແຈກຈ່າຍອາຍແກັສ (ຫົວຝັກບົວ) ຂອງ St.Cera ແມ່ນຜະລິດດ້ວຍເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຈາກເຊລາມິກອາລູມິນາ 99.8% ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ. ມັນມີຮູນ້ອຍໆຫຼາຍຮູ (ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ 0.3–1.5 ມມ) ທີ່ຮັບປະກັນການໄຫຼຂອງອາຍແກັສຢ່າງເປັນເອກະພາບຜ່ານໜ້າດິນເວເຟີໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ CVD, PVD, ຫຼື ALD. ຄວາມແຂງແຮງຂອງໄດອີເລັກຕຣິກສູງ (>15×10⁶ V/m) ແລະ ຄວາມຕ້ານທານຂອງພລາສມາເຮັດໃຫ້ມັນມີຄວາມຈຳເປັນສຳລັບການວາງຟິມບາງເຄິ່ງຕົວນຳ.
ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະ:
| ຊັບສິນ | ມູນຄ່າ |
| ວັດສະດຸ | 99.8% Al₂O₃ ຫຼື SiC |
| ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ | 100 – 1500 ມມ (ຮູບວົງມົນ) ຫຼື ຮູບສີ່ແຈສາກ |
| ຄວາມໜາ | 5 – 20 ມມ |
| ເສັ້ນຜ່າສູນກາງຮູ | 0.3 – 1.5 ມມ |
| ຮູບແບບຮູ | ກຳນົດເອງ (ສາມຫຼ່ຽມ, ສີ່ຫຼ່ຽມ, ສີ່ຫຼ່ຽມ) |
| ຄວາມຮາບພຽງ | ≤10 μm ໃນພື້ນທີ່ເຕັມ |
| ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ | Ra ≤0.6 μm (ດ້ານອາຍແກັສ) |
| ອັດຕາສ່ວນພື້ນທີ່ເປີດ | 5–15% |
ແອັບພລິເຄຊັນ:
ແຜ່ນຫົວອາບນ້ຳ PECVD
ເຄື່ອງສີດອາຍແກັສ ALD
ແຜ່ນແຈກຢາຍອາຍແກັສຂອງຫ້ອງແກະສະຫຼັກ
ອົງປະກອບຂອງເຄື່ອງປະຕິກອນ MOCVD
ການຜະລິດ:
ຊັ້ນຮອງພື້ນອາລູມິນາຖືກຂັດໃຫ້ຮາບພຽງ → ການເຈາະ CNC ດ້ວຍເຄື່ອງມືເຄືອບເພັດ (ຄວາມທົນທານຂອງຕຳແໜ່ງຮູ ±0.02 ມມ) → ການກຳຈັດຄຣີມ → ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍຄື້ນສຽງ ultrasonic → ການຫຸ້ມຫໍ່ Class 100.
ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບ:
ແຕ່ລະແຜ່ນໄດ້ຮັບການກວດກາ 100% ສຳລັບຂະໜາດຂອງຮູ (ລະບົບວິໄສທັດ), ຄວາມຮາບພຽງ (ເຄື່ອງວັດແທກການແຊກແຊງເລເຊີ), ແລະ ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ (ການສ້າງແຜນທີ່ຄວາມດັນ). ບໍ່ມີຮອຍແຕກຂະໜາດນ້ອຍພາຍໃຕ້ກ້ອງຈຸລະທັດ 20x.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບກວ່າແຜ່ນໂລຫະ:
ບໍ່ມີການປົນເປື້ອນໂລຫະໃນຟິມບາງໆ
ການສ້າງອະນຸພາກຕ່ຳກວ່າ (ບໍ່ມີເກັດກັດກ່ອນ)
ທົນທານຕໍ່ກັບພລາສມາທຳຄວາມສະອາດທີ່ຮຸນແຮງ (CF₄, NF₃)
ຄຸນສົມບັດທີ່ກຳນົດເອງ:
ຊ່ອງທາງອາຍແກັສດ້ານຫຼັງ, ຮູເຈາະແບບຕອກ, ປະທັບຕາຂອບ, ແລະ ວັດສະດຸຊັ້ນຕ່າງໆ (SiC ສຳລັບຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນທີ່ສູງຂຶ້ນ, ການເຄືອບ Y₂O₃ ສຳລັບຄວາມຕ້ານທານຂອງພລາສມາ).
ພວກເຮົາໃຫ້ບໍລິການກວດສອບ CAD ແລະ ການຈຳລອງການໄຫຼກ່ອນການຜະລິດ.
