ແກນເຊລາມິກອາລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງສຳລັບອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກ
ແກນເຊລາມິກອາລູມິນາຂອງ St.Cera ແມ່ນສ້າງຂຶ້ນຢ່າງແມ່ນຍໍາຈາກ Al₂O₃ ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ 99.8%, ສະເໜີຄວາມແຂງແຮງຂອງໄດອີເລັກຕຣິກທີ່ໂດດເດັ່ນ (15×10⁶ V/m), ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນສູງເຖິງ 1600°C, ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການເລືອຄານພາຍໃຕ້ການໂຫຼດ. ແກນເຫຼົ່ານີ້ຖືກນໍາໃຊ້ເປັນອົງປະກອບໂຄງສ້າງໃນອຸປະກອນຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ຖານເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ, ຊັ້ນໃນຫ້ອງ plasma, ແລະ ສານກັນໄຟຟ້າ. ຄວາມແຂງສູງຂອງວັດສະດຸ (16 GPa) ແລະ ການດູດຊຶມນໍ້າຕໍ່າ (0%) ຮັບປະກັນຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ.
ລາຍລະອຽດສະເພາະ(ອີງຕາມ 99.8% Al₂O₃):
| ຊັບສິນ | ມູນຄ່າ |
| ວັດສະດຸ | ອາລູມິນາ 99.8% (ງາຊ້າງ) |
| ຄວາມໜາແໜ້ນ | 3.93 ກຣາມ/ຊມ³ |
| ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍ | 361 MPa |
| ຄວາມທົນທານຂອງການແຕກຫັກ | 3–4 MPa·m¹/² |
| ຄວາມແຂງຂອງວິກເກີສ | 16 ເກຣດສະເລ່ຍ |
| ໂມດູນຂອງ Young | 380 ເກຣດພາສຄາ |
| ການນຳຄວາມຮ້ອນ | 32 W/m·k |
| ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ (25-1000°C) | 7.2 × 10⁻⁶/℃ |
| ຄວາມແຮງຂອງໄດອີເລັກຕຣິກ | 15×10⁶ V/m |
| ຄວາມຕ້ານທານສະເພາະ | >10¹⁴ Ω·mm²/ມ |
| ອຸນຫະພູມປະຕິບັດການສູງສຸດ | 1600°C |
ແອັບພລິເຄຊັນ:
- · ແກນເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນສຳລັບເຄື່ອງປະຕິກອນ epitaxial
- · ແຜ່ນປົກຫຸ້ມ ແລະ ແຜ່ນປິດຝາຫ້ອງປລາສມາ
- · ເຄື່ອງກັນໄຟຟ້າແຮງດັນສູງ
- · ພື້ນຖານຕິດຕັ້ງສຳລັບຫຸ່ນຍົນຈັດການແຜ່ນເວເຟີ
ການຜະລິດ:
ການກົດແບບໄອໂຊສະຖິດ → ການເຄື່ອງຈັກສີຂຽວ → ການເຜົາທີ່ 1600°C → ການບົດດ້ວຍ CNC ຈົນເຖິງຂະໜາດສຸດທ້າຍ (ຄວາມທົນທານ ±0.01 ມມ). ແຕ່ລະແກນຖືກກວດສອບໂດຍ CMM ແລະ ການກວດຈັບຂໍ້ບົກພ່ອງດ້ວຍຄື້ນສຽງ.
ການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບ:
ໄດ້ຮັບການຮັບຮອງ ISO 9001:2015. ການທົດສອບການຊຶມຜ່ານຂອງສີຍ້ອມສຳລັບຮອຍແຕກຂອງໜ້າດິນ; ການທົດສອບຄວາມແຮງຂອງໄດອີເລັກຕຣິກຕາມ ASTM D149.
Aຂໍ້ໄດ້ປຽບກວ່າເຊລາມິກອື່ນໆ:
- · ຄວາມແຂງແຮງຂອງໄດອີເລັກຕຣິກສູງກວ່າເຊີໂຄເນຍ (15 vs <10×10⁶ V/m)
- · ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຕ່ຳກວ່າ SiC ສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ບໍ່ແມ່ນພລາສມາ
- · ຕ້ານທານສານເຄມີທີ່ດີເລີດຕໍ່ກັບຮາໂລເຈນ (ຍົກເວັ້ນ HF)
ຮູບຮ່າງທີ່ກຳນົດເອງ:
ກະບອກສູບ, ແຖບສີ່ຫຼ່ຽມ, ແຜ່ນ, ຫຼື ຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນ. ຂະໜາດຄຸນລັກສະນະຕໍ່າສຸດ 0.5 ມມ.
ຕິດຕໍ່ພວກເຮົາສຳລັບການອອກແບບແກນກາງແບບກຳນົດເອງ ແລະ ການສະໜັບສະໜູນການຈຳລອງຄວາມຮ້ອນ.








