ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ SiC ທີ່ມີຮູພຸນ ແລະ ໂລຫະຮອງຮັບ ສຳລັບການຈັດການແຜ່ນເວເຟີທີ່ບິດເບືອນ ແລະ ບາງ

ຫົວຈັບສູນຍາກາດເຊລາມິກທີ່ເຮັດດ້ວຍໂລຫະຂອງ St.Cera ປະສົມປະສານຊັ້ນເຊລາມິກຊິລິໂຄນຄາໄບ (SiC) ທີ່ມີຮູພຸນກັບພື້ນຖານໂລຫະທີ່ຜະລິດດ້ວຍເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ (ອາລູມິນຽມ ຫຼື ເຫຼັກສະແຕນເລດ). ວັດສະດຸ SiC ທີ່ມີຮູພຸນ (ສີຟ້າ-ດຳ, ຮູພຸນ 35–40%, ຂະໜາດຮູພຸນ 20–30 μm, ການຊຶມຜ່ານ 60 ml/cm²·min) ໃຫ້ການແຈກຢາຍສູນຍາກາດທີ່ອ່ອນໂຍນ ແລະ ເປັນເອກະພາບທົ່ວພື້ນຜິວຂອງແຜ່ນເວເຟີທັງໝົດ, ກຳຈັດຮອຍຂອບ ແລະ ເຮັດໃຫ້ການຮອງຮັບແບບບໍ່ສຳຜັດສຳລັບແຜ່ນເວເຟີບາງໆ (≤100 μm) ຫຼື ແຜ່ນເວເຟີທີ່ບິດເບືອນ. ຊັ້ນ SiC ໃຫ້ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ (3.5×10⁻⁶/℃), ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນສູງເຖິງ 1000°C, ແລະ ຄວາມແຂງແຮງໃນການບິດເບືອນປານກາງ (32–35 MPa). ພື້ນຖານໂລຫະເພີ່ມຄວາມແຂງແກ່ນຂອງໂຄງສ້າງ, ການຕິດຕັ້ງງ່າຍຜ່ານຮູເກລียว, ແລະ ການປ້ອງກັນການແຕກຫັກແບບແຕກງ່າຍ. ຫົວຈັບນີ້ເໝາະສຳລັບການບົດດ້ານຫຼັງ, ການຫັ່ນ, ແລະ ການປຸງແຕ່ງແຜ່ນເວເຟີທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ບ່ອນທີ່ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງສູນຍາກາດ ແລະ ຄວາມຮ້ອນເປັນເອກະພາບແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍ.

ສະເປັກ (ອີງຕາມຂໍ້ມູນ SiC ທີ່ມີຮູພຸນທີ່ສະໜອງໃຫ້):

ໝາຍເຫດ: ຄວາມແຂງແຮງໃນການບິດງໍຕ່ຳກວ່າ SiC ທີ່ໜາແໜ້ນເນື່ອງຈາກຄວາມพรຸນ. ຄຸນສົມບັດຂອງພື້ນຖານໂລຫະບໍ່ໄດ້ມາຈາກໂຕະເຊລາມິກ.

ແອັບພລິເຄຊັນ:

• · ການບົດດ້ານຫຼັງຂອງແຜ່ນບາງໆ (≤100 μm)
• · ການຕິດຕັ້ງແຜ່ນເວເຟີບິດງໍສຳລັບການຫັ່ນເປັນຕ່ອນ
• · ການຖິ້ມແຜ່ນເວເຟີທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ (ສູງເຖິງ 1000°C)
• · ອຸປະກອນດູດຝຸ່ນສຳລັບວັດສະດຸທີ່ມີຮູຂຸມຂົນ ຫຼື ບອບບາງ

ການຜະລິດ:

ແຜ່ນ SiC ທີ່ມີຮູພຸນ (ປະກອບດ້ວຍຕົວສ້າງຮູພຸນ, ເຜົາ) → ຂັດໃຫ້ຮາບພຽງ ≤10 μm → ຖານໂລຫະທີ່ເຄື່ອງຈັກດ້ວຍຮູສູນຍາກາດ ແລະ ຄຸນສົມບັດການຕິດຕັ້ງ → ການຍຶດດ້ວຍອີພອກຊີ ຫຼື ການໜີບກົນຈັກ → ການທົດສອບການຮົ່ວໄຫຼຂອງຮີລຽມ.

ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບ:

• · ກວດສອບຄວາມพรຸນ ແລະ ຂະໜາດຂອງຮູຂຸມຂົນໂດຍ SEM
• · ການທົດສອບການຊຶມຜ່ານ (ການໄຫຼຂອງອາກາດ)
• · ຄວາມຮາບພຽງຖືກວັດແທກດ້ວຍເຄື່ອງວັດແທກຄວາມຖີ່ເລເຊີ
• · ອັດຕາການຮົ່ວໄຫຼຂອງຮີລຽມ <1×10⁻⁹ Pa·m³/s

ຂໍ້ໄດ້ປຽບກວ່າຈັກຊັກເຊລາມິກທີ່ມີຮ່ອງ ຫຼື ໜາແໜ້ນ:

• · ບໍ່ມີເຄື່ອງໝາຍແຜ່ນເວເຟີ - ສູນຍາກາດທີ່ເປັນເອກະພາບໂດຍບໍ່ມີຮູແຍກຕ່າງຫາກ
• · ຮູຂຸມຂົນທຳຄວາມສະອາດດ້ວຍຕົນເອງ - ຫຼຸດຜ່ອນການອຸດຕັນ
• · ຈັດການກັບແຜ່ນເວເຟີທີ່ບິດເບືອນ (ສູງເຖິງ 500 μm bow)
• · ຖານໂລຫະປ້ອງກັນການແຕກຫັກແບບແຕກງ່າຍ ແລະ ເຮັດໃຫ້ການເຊື່ອມໂຍງງ່າຍຂຶ້ນ

ຂໍ້ຈຳກັດ:

• · ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍຕ່ຳກວ່າ (32–35 MPa) - ຫຼີກລ່ຽງການຮັບແຮງກະທົບ
• · ອຸນຫະພູມປະຕິບັດການຈຳກັດຢູ່ທີ່ 1000°C (SiC ທີ່ມີຮູພຸນ), ແຕ່ການຜູກມັດອີພອກຊີທີ່ເປັນໂລຫະຈຳກັດຢູ່ທີ່ ≤200°C ເວັ້ນເສຍແຕ່ວ່າຖືກໜີບດ້ວຍກົນຈັກ
• · ບໍ່ແມ່ນສຳລັບສູນຍາກາດຄວາມດັນສູງ (ໂຄງສ້າງທີ່ມີຮູຂຸມຂົນຈຳກັດຄວາມແຕກຕ່າງຂອງສູນຍາກາດສູງສຸດ)

ການປັບແຕ່ງ:

• · ຖານໂລຫະ: ອາລູມິນຽມ (ນ້ຳໜັກເບົາ), ເຫຼັກສະແຕນເລດ (ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ), Invar (ຂະຫຍາຍຕ່ຳ)
• · ການຍຶດຕິດ: epoxy (≤200°C) ຫຼື ໜີບກົນຈັກ (ສູງເຖິງ 500°C)
• · ວົງແຫວນປະທັບຕາຂອບສຳລັບການຄວບຄຸມສູນຍາກາດເຂດ

ກະລຸນາຮັບຊາບ: ຄວາມແຮງບິດທີ່ສະໜອງໃຫ້ (32–35 MPa) ແມ່ນຕໍ່າກວ່າເຊລາມິກໜາແໜ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍເນື່ອງຈາກຄວາມพรຸນ. ຈັບດ້ວຍຄວາມລະມັດລະວັງເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການບิ่นຂອງຂອບ.